電感耦合等離子體原子發射光譜分析技術，既具有原子發射光譜法的多元素同時測定優點，又具很寬線性范圍，可對主、次、痕量元素成分同時測定，適用于固、液、氣態樣品的直接分析，具有多元素、多譜線同時測定的特點，是實驗室元素分析的理想方法。是原子光譜分析技術中應用廣泛的一種，不僅是冶金、機械、地質等部門的分析手段，而且在有機物、生化樣品的分析，以及當前備受關注的環境檢測和食品安全監控等方面。
電感耦合等離子體焰矩溫度可達6000~8000K，當將試樣由進樣器引入霧化器，并被氬載氣帶入焰矩時，則試樣中組分被原子化、電離、激發，以光的形式發射出能量。不同元素的原子在激發或電離后回到基態時，發射不同波長的特征光譜，故根據特征光的波長可進行定性分析;元素的含量不同時，發射特征光的強弱也不同
ICP(即電感耦合等離子體)是由高頻電流經感應線圈產生高頻電磁場，使工作氣體(Ar)電離形成火焰狀放電高溫等離子體，等離子體的最高溫度10000K。試樣溶液通過進樣毛細管經蠕動泵作用進入霧化器霧化形成氣溶膠，由載氣引入高溫等離子體，進行蒸發、原子化、激發、電離，并產生輻射，光源經過采光管進入狹縫、反光鏡、棱鏡、中階梯光柵、準直鏡形成二維光譜，譜線以光斑形式落在 540x540個像素的CID檢測器上，每個光斑覆蓋幾個像素，光譜儀通過測量落在像素上的光量子數來測量元素濃度。光量子數信號通過電路轉換為數字信號通過電腦顯示和打印機打印出結果。
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